ファブ内で適切な加熱を実現するには ウェーハの硬化処理を経験したことがある人なら、基板が歪んでしまうという問題がどれほど悩ましいかわかるでしょう。これは、通常、加熱パターンに少しでも誤差があるために起こります。最新のデータ駆動型ファブでは、単に「加熱強度を上げてみる」というだけでは不十分です。 実...

半製品の加熱を適切に行うために ウェーハの加工をしたことがある人なら、ウェーハが歪んだり汚染されたりするという問題を知っているでしょう。これはほとんどの場合、温度制御の問題に起因しています。 この問題を解決するために、私たちは赤外線ランプと金製の反射板を組み合わせて使用します。目的は単純です――必...