ファブ内で適切な加熱を実現するには ウェーハの硬化処理を経験したことがある人なら、基板が歪んでしまうという問題がどれほど悩ましいかわかるでしょう。これは、通常、加熱パターンに少しでも誤差があるために起こります。最新のデータ駆動型ファブでは、単に「加熱強度を上げてみる」というだけでは不十分です。 実...

もう、清掃のことで悩む必要はありません。正直に言って、可燃性化学物質の近くで赤外線照射装置を使うのは非常に危険です。わずかな火花や石英管の微細なひび割れがあっただけで、単なる故障どころか、大惨事につながりかねません。 だからこそ、私たちは単にランプを作るだけでなく、それを保護シェルで覆います。特定...