赤外線加熱と熱風加熱：ウェーハの処理に時間を無駄にしないために 熱風がどのように機能するか考えてみましょう。まず空気を加熱し、その空気が後でウェーハを加熱するのです。これは遅いプロセスです。待つだけの時間がかかります。高度な半導体加工においては、この遅さは単なる不便さ以上の問題であり、コストにもな...

なぜウェーハ処理において熱風の代わりに赤外線を使うのか 半導体の高度な加工を速めたい場合、どこで時間が無駄になっているかを見極める必要があります。多くの場合、そのボトルネックは加熱プロセスです。 従来の装置では熱風を利用していますが、これは遅いプロセスです。まず空気を加熱し、その後でその空気がウェ...

ファブ内で適切な加熱を実現するには ウェーハの硬化処理を経験したことがある人なら、基板が歪んでしまうという問題がどれほど悩ましいかわかるでしょう。これは、通常、加熱パターンに少しでも誤差があるために起こります。最新のデータ駆動型ファブでは、単に「加熱強度を上げてみる」というだけでは不十分です。 実...

MEMSウェーハを安全に乾燥させる方法 MEMSセンサーのウェーハを乾燥させるのは、細心の注意が必要な作業です。洗浄液をすばやく除去する必要がありますが、注意しないと水滴が残ったり、さらに悪いことに、機械的なストレスが生じて、全てのウェーハが台無しになってしまいます。 そのため、私たちはこの目的に...

スマートファブでの適切な熱管理 Industry 4.0向けのスマートファブを構築する際、従来の熱処理方法ではもはや十分ではないことに気づくでしょう。一般的な抵抗加熱器は反応が遅く、温まるのに時間がかかり、冷却にも同様に時間がかかります。 そのため、私たちは赤外線システムを利用します。赤外線は、必...

ウェーハ加工用の高精度赤外線ランプ 想像してみてください。ウェーハの生産が順調に進んでいるところで、突然ランプが壊れてしまうのです。これは単なる停止にとどまらず、大混乱を招きます。汚染があちこちに広がり、工場全体の稼働が停止する危険性もあります。 私たちは、このような最悪の事態を未然に防ぐために、...

バーンインラインでは、温度の安定性は好みではなく、厳格な制約です。数度のドリフトがパラメトリック歩留まりを台無しにし、フォトレジストの焼成不均一性が厳しいリソグラフィ予算を圧迫し、良品のウェハを廃棄物に変えてしまいます。私たちは、シフトごとにその熱場を正確に保つために、ウェハバーンイン加熱ランプを...

リソグラフィフロアでは、ベーク温度の0.5°Cの変動がクリティカル寸法をナノメートル単位で移動させることを素早く理解することになる—これが多くのウェハがスクラップになる原因である。マイクロウェハ部品向けの短波長赤外線ヒーターは、その問題の根源に対処し、プロセスウィンドウ内で熱挙動を固定する。 技術...