真空オーブン加熱素子製造

製造現場での真空オーブン加熱要素 ファブフロアでは、フォトレジストの焼成は単なる加熱ステップではなく、寸法管理です。ソフトベークとハードベークの温度がわずかにずれるだけでも、重要な寸法が変わり、反射率がシフトし、ロット全体の歩留まりが低下します。真空オーブンでは状況が悪化します。低圧環境を通じて熱...