化学処理エリアでのIRランプの心配はやめましょう。 もし化学洗浄ラインで赤外線加熱ランプを使用しているのであれば、その危険性はよくご存知でしょう。周囲には可燃性の蒸気が漂っており、また、ほぼすべての物質を腐食させるような腐食性物質も存在します。 このような環境では、通常の電線接続は単なるリスクでは...

リソグラフィーの工程においては、ソフトベイクのプロファイルにわずか0.5度のずれがあるだけで、重要な寸法制御が狂ってしまいます。フォトレジスト中の溶剤の除去が不均一になり、その結果、ハードベイク時にそのエラーが固定されてしまいます。ウェーハ全体の温度均一性は特典ではなく、むしろ工程の基本条件です。...