カーボンナノチューブ製造用ヒーター

ファブラトリーでは、ベイク処理の段階で、線幅制御に必要な熱的条件が決定されます。ソフトベイクやハードベイク時の2°Cの誤差があると、CDバイアスが変わり、スカミングが発生し始めます。このようなばらつきを解消するために、私たちはカーボンナノチューブを利用したヒーターを開発しました。 技術的に重要な点...