クォーツシールドを使って、ファブのランプの性能を最大限に引き出す方法 半導体ファブを運営している方ならご存知の通り、ウェーハの加熱や硬化にはIRヒーターが不可欠です。しかし、カーボンニュートラルを実現するためには、エネルギーがどこで無駄に消費されているかを把握する必要があります。 そこで役立つのが...

リソグラフィーの工程においては、ソフトベイクのプロファイルにわずか0.5度のずれがあるだけで、重要な寸法制御が狂ってしまいます。フォトレジスト中の溶剤の除去が不均一になり、その結果、ハードベイク時にそのエラーが固定されてしまいます。ウェーハ全体の温度均一性は特典ではなく、むしろ工程の基本条件です。...

製造現場では、よく知られている通り、焼成温度が半度でもずれるだけで、部品の寸法精度が悪化し、歩留まりも低下してしまいます。中波石英ヒーター管は、そのような温度のずれを防止するために設計されています。 実際に重要なのは、ウェーハ自体の制御です。中波赤外線は、皮効果がほとんどないため、フォトレジストを...