ライボルド・真空ヒーターのスペア部品

生産工程においては、ソフトベイク時の温度が0.2°Cほど変動し、フォトレジストの特性も変わってしまいます。その結果、CDの均一性が低下し、再加工が必要となります。リソグラフィーにおいては、熱安定性は単なる好みではなく、プロセス上不可欠な要素です。 重要なのは何か 私たちは、短波長の赤外線素子と、ウ...