OEM半導体ヒーター素子

製造現場では、フォトレジストの焼成処理中に温度が1℃変動するだけで、線幅がナノメートル単位で変わってしまいます。それだけ多くの製品が廃棄されてしまうことになります。したがって、温度を一定に保つことが重要です。私たちは、設定値だけでなく、ウェーハ自体の温度も正確に制御できるように、OEM用の半導体ヒ...