製造工程における乾燥工程のエネルギー審査

シャードの発生を防ぐ：IRランプの故障からウェーハを守る 正直に言って、製造工程の最中にIRランプが破損するのは恐ろしいことです。単に部品の交換コストだけの問題ではありません。ガラスの破片がウェーハ全体に飛び散ってしまう可能性があるため、大変なパニックに陥ります。 高負荷の生産を行う際、クォーツ製...