なぜウェーハ処理において熱風の代わりに赤外線を使うのか 半導体の高度な加工を速めたい場合、どこで時間が無駄になっているかを見極める必要があります。多くの場合、そのボトルネックは加熱プロセスです。 従来の装置では熱風を利用していますが、これは遅いプロセスです。まず空気を加熱し、その後でその空気がウェ...

なぜオーブンを待つ必要があるのでしょうか？水素センサーにおける赤外線と熱風の違い もし水素センサーを製造しているのであれば、どうすればいいかはよくわかっているはずです。触媒層を活性化させたり、膜を安定させたりする必要がありますが、それらはすべて、熱をどのように扱うかにかかっています。 多くの工場で...

MEMSウェーハを安全に乾燥させる方法 MEMSセンサーのウェーハを乾燥させるのは、細心の注意が必要な作業です。洗浄液をすばやく除去する必要がありますが、注意しないと水滴が残ったり、さらに悪いことに、機械的なストレスが生じて、全てのウェーハが台無しになってしまいます。 そのため、私たちはこの目的に...

ウェーハ加工用の高精度赤外線ランプ 想像してみてください。ウェーハの生産が順調に進んでいるところで、突然ランプが壊れてしまうのです。これは単なる停止にとどまらず、大混乱を招きます。汚染があちこちに広がり、工場全体の稼働が停止する危険性もあります。 私たちは、このような最悪の事態を未然に防ぐために、...

製造現場では、スマートセンサーのパッケージング工程においては、温度の変動を許容することはできません。もし、ソフトベイク時に温度が規定値から外れたり、ハードベイク時に熱の偏りが生じたりすれば、リソグラフィーが終了する前から歩留まりが悪くなってしまいます。そうした問題を解決するために、私たちは赤外線を...