コーター用開発赤外線ヒーター

リソグラフィ工程では、ソフトベイクの温度が1℃変動すると、クリティカルディメンション（CD）バイアスが移動します。これがウェハ全体の線幅変動として現れ、数時間に及ぶ工程作業が無駄になります。 コーター／デベロッパー用IRヒーターは、フォトレジスト処理の熱源の中心です：ソフトベイク、ハードベイク、乾...