リソグラフィーの工程において、「ソフトベイク」と「ハードベイク」というのは単なる「加熱処理」に過ぎません。これらは、パターンの精度を保つための重要な要素であり、再加工が必要になってしまうことを防ぐためのものです。フォトレジストは繊細な素材ですから、わずかな温度変動でも問題を引き起こします。数度程度の温度変動やウエハ上の部分的な過熱があるだけで、CDの精度が低下してしまいます。
技術的に重要な点 私たちは、石英製のケースに入った短波長ハロゲンランプを使用しています。これにより、速くて乾燥した熱が得られ、粒子の発生も少ないです。最も重要なのは、ウエハ全体の温度均一性です。その値は±0.1℃以内でなければなりません。再現性も同じ範囲内に保たれるため、毎回のベイク処理の結果は一定です。
このシステムは、クリーンルーム環境に適応して設計されています。クラス1から100の環境下で動作し、粒子の発生もありません。24時間365日連続して安定した温度を維持でき、5,000時間以上の運用でも出力の安定性が保たれます。エネルギー消費量もプロセスに合わせて調整されており、無駄なエネルギーの消費がありません。
なぜフォトレジスト処理に適しているのか 溶剤を取り除くためのベイク処理が必要ですが、その際にレジストが流れたり、応力が発生したりしてはいけません。この条件を厳格に管理することで、線幅のばらつきが減少し、スカムの発生も抑えられます。そうすることで、プロセスの幅が広がり、レティクルのマッチングも容易になります。
再加工の回数が減り、処理効率が向上します。また、ランプが所定の温度に迅速に到達し、その温度を維持できるため、エネルギーの消費も少なくて済みます。
導入時に期待できること ランプはスムーズに組み込めますが、熱インターフェースはコーターやトラックチェンバーの仕様に合致していなければなりません。ガスの流れや取り付けの精度、熱容量なども重要です。設定作業は短時間で済み、PIDをチェンバーの特性に合わせて調整すればよいのです。
一度設定が完了すれば、メンテナンスを最小限に抑えて安定した稼働が可能です。しかし、ランプの寿命には限りがあります。そのため、事前に交換時期を計画しておく必要があります。