ウェーハ処理装置用温度センサー

なぜウェーハ処理において熱風の代わりに赤外線を使うのか 半導体の高度な加工を速めたい場合、どこで時間が無駄になっているかを見極める必要があります。多くの場合、そのボトルネックは加熱プロセスです。 従来の装置では熱風を利用していますが、これは遅いプロセスです。まず空気を加熱し、その後でその空気がウェ...