リソグラフィーの工程において、「ソフトベイク」と「ハードベイク」というのは単なる「加熱処理」に過ぎません。これらは、パターンの精度を保つための重要な要素であり、再加工が必要になってしまうことを防ぐためのものです。フォトレジストは繊細な素材ですから、わずかな温度変動でも問題を引き起こします。数度程度...

リソグラフィフロアにおける電子線レジストのベークは単なる準備作業ではない。これはライン幅制御のゲートキーパーである。0.3°Cの温度変動が傾斜したサイドウォールを印刷する原因となる。冷たい箇所は膜残りを引き起こし、後に現像剥離として現れる。私たちの電子線レジストベーク用ヒーターはその現実を見据えて...