製造工程における乾燥工程のエネルギー審査
シャードの発生を防ぐ:IRランプの故障からウェーハを守る 正直に言って、製造工程の最中にIRランプが破損するのは恐ろしいことです。単に部品の交換コストだけの問題ではありません。ガラスの破片がウェーハ全体に飛び散ってしまう可能性があるため、大変なパニックに陥ります。
高負荷の生産を行う際、クォーツ製...
MEMSセンサーワイヤー用乾燥ヒーター
MEMSウェーハを安全に乾燥させる方法
MEMSセンサーのウェーハを乾燥させるのは、細心の注意が必要な作業です。洗浄液をすばやく除去する必要がありますが、注意しないと水滴が残ったり、さらに悪いことに、機械的なストレスが生じて、全てのウェーハが台無しになってしまいます。
そのため、私たちはこの目的に...