バイオセンサー製造用赤外線ランプ
ウェーハにより多くの熱を与える方法（家が燃え上がらないように）
もしバイオセンサーの製造に関わったことがある人なら、その困難さは理解しているはずです。ウェーハを正確な温度に保ちつつ、筐体が過熱しないようにするのは、まるで無駄な努力のように思えます。
しかし、私たちはその問題を解決する方法を見つけま...
オゾンフリー赤外線ランプ
化学物質を加熱する際に爆発を防ぐ方法について話しましょう。
清掃工程で化学物質を加熱するのは、非常に危険な作業です。火災や爆発を起こしやすい溶剤を扱う場合、一般的な赤外線ランプを使うのは良くない選択です。それは危険を招くだけです。そのため、私たちはオゾンを発生させない特別な封入構造を持つ赤外線ラン...
バイオセンサー製造用赤外線ランプ
1つの不良なランプで全てを台無しにしないために バイオセンサーの製造においては、わずかなミスが大惨事を引き起こす可能性があります。例えば、大量生産の最中に赤外線ランプが壊れてしまったとします。それは単なるライトの故障ではありません。クォーツの破片やハロゲンガスが作業場に飛び散るのです。
一度それが...
赤外線ランプ用アルミニウム反射板
熱の無駄遣いを止めよう：なぜ半導体製造装置にはアルミニウム製の反射器が必要なのか
IRランプの問題点は、熱があらゆる方向に放出されることです。360度全方向にエネルギーが散逸してしまいます。しかし、半導体製造装置では、ウェーハに届く熱だけが重要です。
反射器がなければ、エネルギーの半分が無駄になっ...
クリーンルーム用ベンチ赤外線ランプ
スマートファブで適切な温度管理を行うには
次世代のIndustry 4.0型製造工場を構築する際、従来の加熱方法ではもはや十分ではないことがわかっているでしょう。あの大きな対流式オーブンは、加熱に時間がかかり、部品周辺の空気を温めるだけで莫大なエネルギーが消費されます。
そのため、私たちはクリーン...
バイオセンサー製造用赤外線ランプ
バイオセンサーの製造において、熱の管理は非常に重要です。ポリマーを硬化させたり、生物学的試薬を活性化させるためには熱が必要ですが、過度な熱を加えるとすべてが台無しになってしまいます。敏感な基材にとっては、そんな過酷な状況は耐えられないのです。
そのため、私たちは古くから使われてきた対流式オーブンを...
ファブレーザー用クォーツガラスシールド
クォーツシールドを使って、ファブのランプの性能を最大限に引き出す方法
半導体ファブを運営している方ならご存知の通り、ウェーハの加熱や硬化にはIRヒーターが不可欠です。しかし、カーボンニュートラルを実現するためには、エネルギーがどこで無駄に消費されているかを把握する必要があります。
そこで役立つのが...
ツインチューブ型の金コーティング付きランプ
実際に重要な場所により多くの熱を届ける：金コーティングされたツインチューブランプ
ウェーハ製造を行う際、私たちはエネルギーの無駄遣いと戦っているのです。シリコン表面全体に均一な温度を保つ必要がありますが、ほとんどの場合、熱は無駄に漏れてしまいます。
ここで問題となるのが、一般的な石英ランプです。こ...
ウェーハ硬化ランプ用反射器
ファブ内で適切な加熱を実現するには
ウェーハの硬化処理を経験したことがある人なら、基板が歪んでしまうという問題がどれほど悩ましいかわかるでしょう。これは、通常、加熱パターンに少しでも誤差があるために起こります。最新のデータ駆動型ファブでは、単に「加熱強度を上げてみる」というだけでは不十分です。
実...
認定済み赤外線硬化ランプ製造業者
もう、清掃のことで悩む必要はありません。正直に言って、可燃性化学物質の近くで赤外線照射装置を使うのは非常に危険です。わずかな火花や石英管の微細なひび割れがあっただけで、単なる故障どころか、大惨事につながりかねません。
だからこそ、私たちは単にランプを作るだけでなく、それを保護シェルで覆います。特定...
UHP 超純度 ヒーターランプ
スマートファブで適切な加熱を実現するには
もし Industrie 4.0向けのスマートファブを構築するなら、まず最初にやるべきことは、従来型の加熱方法に頼るのをやめることです。それではもう十分ではありません。ウェーハの処理や化学気相成長といった作業には、UHP（超高純度）ヒーターランプが必要です...
炭素繊維赤外線ランプ工場
スマートファブで古いタイプのヒーターの使用をやめましょう。
もし、近代的でデジタル化されたファブを構築するつもりなら、熱の扱い方を見直す必要があります。あの古い抵抗式ヒーターでは、反応が遅すぎます。生産ラインがミリ秒単位で動いている状況では、コイルが温まるのを待っている暇はありません。
そこで役立...
半導体用の金コーティング赤外線ランプ
IRランプが爆発性の化学物質に触れたときの安全対策
半導体を洗浄する際、実際には火を扱っているようなものです。それらの溶剤は可燃性があり、場合によっては爆発的な性質を持っています。通常のIRランプをその環境に使えば、災害を招くことになります。
だからこそ、私たちは金メッキされた短波長IRランプを使...
RTPシステム用ハロゲンランプ
ファブの現場では、フォトレジストの焼成時にウェーハ表面で0.2℃もの温度変動が生じると、ウェーハの均一性や歩留まりが低下してしまいます。RTPでは、そのランプは単なる熱源に過ぎず、むしろ熱的な均一性や再現性を決定づける重要な要素です。
私たちがRTPシステム用に製造するハロゲンランプは、高いスペク...
フォトレジスト焼成ランプ
リソグラフィーの工程において、「ソフトベイク」と「ハードベイク」というのは単なる「加熱処理」に過ぎません。これらは、パターンの精度を保つための重要な要素であり、再加工が必要になってしまうことを防ぐためのものです。フォトレジストは繊細な素材ですから、わずかな温度変動でも問題を引き起こします。数度程度...
ウェーハバーンインテスト加熱ランプ
バーンインラインでは、温度の安定性は好みではなく、厳格な制約です。数度のドリフトがパラメトリック歩留まりを台無しにし、フォトレジストの焼成不均一性が厳しいリソグラフィ予算を圧迫し、良品のウェハを廃棄物に変えてしまいます。私たちは、シフトごとにその熱場を正確に保つために、ウェハバーンイン加熱ランプを...