金製反射板付き赤外線ランプ
半製品の加熱を適切に行うために
ウェーハの加工をしたことがある人なら、ウェーハが歪んだり汚染されたりするという問題を知っているでしょう。これはほとんどの場合、温度制御の問題に起因しています。
この問題を解決するために、私たちは赤外線ランプと金製の反射板を組み合わせて使用します。目的は単純です――必...
半導体用の金コーティング赤外線ランプ
IRランプが爆発性の化学物質に触れたときの安全対策
半導体を洗浄する際、実際には火を扱っているようなものです。それらの溶剤は可燃性があり、場合によっては爆発的な性質を持っています。通常のIRランプをその環境に使えば、災害を招くことになります。
だからこそ、私たちは金メッキされた短波長IRランプを使...