フォトレジスト焼成ランプ

リソグラフィーの工程において、「ソフトベイク」と「ハードベイク」というのは単なる「加熱処理」に過ぎません。これらは、パターンの精度を保つための重要な要素であり、再加工が必要になってしまうことを防ぐためのものです。フォトレジストは繊細な素材ですから、わずかな温度変動でも問題を引き起こします。数度程度...