中波用石英ヒーターチューブ

製造現場では、よく知られている通り、焼成温度が半度でもずれるだけで、部品の寸法精度が悪化し、歩留まりも低下してしまいます。中波石英ヒーター管は、そのような温度のずれを防止するために設計されています。 実際に重要なのは、ウェーハ自体の制御です。中波赤外線は、皮効果がほとんどないため、フォトレジストを...