スマートファブで赤外線を効果的に活用するには もしIndustry 4.0対応の工場を構築しているのであれば、従来の加熱方法ではもはや十分ではないことがお分かりでしょう。データと連携できるようなシステムが必要です。 真空チャンバー内では、空気を利用して熱を移動させることはできません。そのため、赤外...

生産工程においては、ソフトベイク時の温度が0.2°Cほど変動し、フォトレジストの特性も変わってしまいます。その結果、CDの均一性が低下し、再加工が必要となります。リソグラフィーにおいては、熱安定性は単なる好みではなく、プロセス上不可欠な要素です。 重要なのは何か 私たちは、短波長の赤外線素子と、ウ...

製造現場での真空オーブン加熱要素 ファブフロアでは、フォトレジストの焼成は単なる加熱ステップではなく、寸法管理です。ソフトベークとハードベークの温度がわずかにずれるだけでも、重要な寸法が変わり、反射率がシフトし、ロット全体の歩留まりが低下します。真空オーブンでは状況が悪化します。低圧環境を通じて熱...