ウェーハ加熱の安全距離

赤外線加熱と熱風加熱：ウェーハの処理に時間を無駄にしないために 熱風がどのように機能するか考えてみましょう。まず空気を加熱し、その空気が後でウェーハを加熱するのです。これは遅いプロセスです。待つだけの時間がかかります。高度な半導体加工においては、この遅さは単なる不便さ以上の問題であり、コストにもな...