省エネ型ウェーハヒーター

スマートファブでの適切な熱管理 Industry 4.0向けのスマートファブを構築する際、従来の熱処理方法ではもはや十分ではないことに気づくでしょう。一般的な抵抗加熱器は反応が遅く、温まるのに時間がかかり、冷却にも同様に時間がかかります。 そのため、私たちは赤外線システムを利用します。赤外線は、必...