ウェーハバーンインテスト加熱ランプ

バーンインラインでは、温度の安定性は好みではなく、厳格な制約です。数度のドリフトがパラメトリック歩留まりを台無しにし、フォトレジストの焼成不均一性が厳しいリソグラフィ予算を圧迫し、良品のウェハを廃棄物に変えてしまいます。私たちは、シフトごとにその熱場を正確に保つために、ウェハバーンイン加熱ランプを...