時間の無駄をやめよう：なぜファブにはホットエアではなく赤外線が必要なのか もし依然としてホットエアを使って深い処理を行っているのであれば、それはまるで時間と戦っているようなものです。 ホットエアの仕組みを考えてみてください。まず空気を加熱し、その空気がウェーハを温めることを期待します。しかし、これ...

クォーツシールドを使って、ファブのランプの性能を最大限に引き出す方法 半導体ファブを運営している方ならご存知の通り、ウェーハの加熱や硬化にはIRヒーターが不可欠です。しかし、カーボンニュートラルを実現するためには、エネルギーがどこで無駄に消費されているかを把握する必要があります。 そこで役立つのが...

なぜ、すべてのライトチューブをテストするのか（そして、なぜそれが重要なのか） 半導体製造工場では、「小さな」電気的故障など許されません。ライトチューブ内でわずかなアークが発生したり、絶縁体に少しでも問題があるだけでも、単なる迷惑にとどまらず、大量のウェーハが台無しになったり、施設の半分が停止してし...

シャードの発生を防ぐ：IRランプの故障からウェーハを守る 正直に言って、製造工程の最中にIRランプが破損するのは恐ろしいことです。単に部品の交換コストだけの問題ではありません。ガラスの破片がウェーハ全体に飛び散ってしまう可能性があるため、大変なパニックに陥ります。 高負荷の生産を行う際、クォーツ製...

もう、清掃のことで悩む必要はありません。正直に言って、可燃性化学物質の近くで赤外線照射装置を使うのは非常に危険です。わずかな火花や石英管の微細なひび割れがあっただけで、単なる故障どころか、大惨事につながりかねません。 だからこそ、私たちは単にランプを作るだけでなく、それを保護シェルで覆います。特定...

スマートファブで古いタイプのヒーターの使用をやめましょう。 もし、近代的でデジタル化されたファブを構築するつもりなら、熱の扱い方を見直す必要があります。あの古い抵抗式ヒーターでは、反応が遅すぎます。生産ラインがミリ秒単位で動いている状況では、コイルが温まるのを待っている暇はありません。 そこで役立...

なぜ半導体製造において、熱風ではなく赤外線を使用するのか？ 正直に言えば、チャンバーが十分に温まるのを待つのは最も苦痛な作業です。熱風を利用する場合、ただ座って時間を待つだけで、空気が十分に温まってから初めて何かを行えます。これは大きなボトルネックです。 そのため、私たちは赤外線加熱を採用していま...

製造現場での真空オーブン加熱要素 ファブフロアでは、フォトレジストの焼成は単なる加熱ステップではなく、寸法管理です。ソフトベークとハードベークの温度がわずかにずれるだけでも、重要な寸法が変わり、反射率がシフトし、ロット全体の歩留まりが低下します。真空オーブンでは状況が悪化します。低圧環境を通じて熱...