ウェーハにより多くの熱を与える方法（家が燃え上がらないように） もしバイオセンサーの製造に関わったことがある人なら、その困難さは理解しているはずです。ウェーハを正確な温度に保ちつつ、筐体が過熱しないようにするのは、まるで無駄な努力のように思えます。 しかし、私たちはその問題を解決する方法を見つけま...

1つの不良なランプで全てを台無しにしないために バイオセンサーの製造においては、わずかなミスが大惨事を引き起こす可能性があります。例えば、大量生産の最中に赤外線ランプが壊れてしまったとします。それは単なるライトの故障ではありません。クォーツの破片やハロゲンガスが作業場に飛び散るのです。 一度それが...

時間の無駄をやめよう：なぜファブにはホットエアではなく赤外線が必要なのか もし依然としてホットエアを使って深い処理を行っているのであれば、それはまるで時間と戦っているようなものです。 ホットエアの仕組みを考えてみてください。まず空気を加熱し、その空気がウェーハを温めることを期待します。しかし、これ...

バイオセンサーの製造において、熱の管理は非常に重要です。ポリマーを硬化させたり、生物学的試薬を活性化させるためには熱が必要ですが、過度な熱を加えるとすべてが台無しになってしまいます。敏感な基材にとっては、そんな過酷な状況は耐えられないのです。 そのため、私たちは古くから使われてきた対流式オーブンを...

なぜオーブンを待つ必要があるのでしょうか？水素センサーにおける赤外線と熱風の違い もし水素センサーを製造しているのであれば、どうすればいいかはよくわかっているはずです。触媒層を活性化させたり、膜を安定させたりする必要がありますが、それらはすべて、熱をどのように扱うかにかかっています。 多くの工場で...

ファブラトリーでは、ベイク処理の段階で、線幅制御に必要な熱的条件が決定されます。ソフトベイクやハードベイク時の2°Cの誤差があると、CDバイアスが変わり、スカミングが発生し始めます。このようなばらつきを解消するために、私たちはカーボンナノチューブを利用したヒーターを開発しました。 技術的に重要な点...