高速応答型赤外線ヒーターバルブ

ファブの現場では、ソフトベイクやウェーハの乾燥中に生じる熱的なずれは、単なるボトルネックにとどまりません。それによって重要な寸法が変化し、残留物が残り、結果として歩留まりが低下します。私たちは、このような熱的なずれを根本から解決するために、高速応答型の赤外線ヒーターを開発しました。 技術的に重要な...