Eビームレジストベーキングヒーター

リソグラフィフロアにおける電子線レジストのベークは単なる準備作業ではない。これはライン幅制御のゲートキーパーである。0.3°Cの温度変動が傾斜したサイドウォールを印刷する原因となる。冷たい箇所は膜残りを引き起こし、後に現像剥離として現れる。私たちの電子線レジストベーク用ヒーターはその現実を見据えて...