半導体ヒーター用熱電対

ファブの現場では、フォトレジストを加熱する際にホットプレートの温度が0.5°C程度変動するだけでも、線幅の制御が崩れてしまい、製品が不良品になってしまいます。したがって、ヒーターの局所的な高温部分ではなく、設定された温度値に沿った正確な温度測定が必要です。 技術的に重要な点 半導体用ヒーター用の熱...