スマートセンサーパッケージング 赤外線

製造現場では、スマートセンサーのパッケージング工程においては、温度の変動を許容することはできません。もし、ソフトベイク時に温度が規定値から外れたり、ハードベイク時に熱の偏りが生じたりすれば、リソグラフィーが終了する前から歩留まりが悪くなってしまいます。そうした問題を解決するために、私たちは赤外線を...