半製品の加熱を適切に行うために ウェーハの加工をしたことがある人なら、ウェーハが歪んだり汚染されたりするという問題を知っているでしょう。これはほとんどの場合、温度制御の問題に起因しています。 この問題を解決するために、私たちは赤外線ランプと金製の反射板を組み合わせて使用します。目的は単純です――必...

ファブの現場では、ソフトベイクやウェーハの乾燥中に生じる熱的なずれは、単なるボトルネックにとどまりません。それによって重要な寸法が変化し、残留物が残り、結果として歩留まりが低下します。私たちは、このような熱的なずれを根本から解決するために、高速応答型の赤外線ヒーターを開発しました。 技術的に重要な...