実際に重要な場所により多くの熱を届ける：金コーティングされたツインチューブランプ ウェーハ製造を行う際、私たちはエネルギーの無駄遣いと戦っているのです。シリコン表面全体に均一な温度を保つ必要がありますが、ほとんどの場合、熱は無駄に漏れてしまいます。 ここで問題となるのが、一般的な石英ランプです。こ...

製造現場では、よく知られている通り、焼成温度が半度でもずれるだけで、部品の寸法精度が悪化し、歩留まりも低下してしまいます。中波石英ヒーター管は、そのような温度のずれを防止するために設計されています。 実際に重要なのは、ウェーハ自体の制御です。中波赤外線は、皮効果がほとんどないため、フォトレジストを...