UHP 超純度 ヒーターランプ

スマートファブで適切な加熱を実現するには もし Industrie 4.0向けのスマートファブを構築するなら、まず最初にやるべきことは、従来型の加熱方法に頼るのをやめることです。それではもう十分ではありません。ウェーハの処理や化学気相成長といった作業には、UHP（超高純度）ヒーターランプが必要です...