スマートファブで古いタイプのヒーターの使用をやめましょう。 もし、近代的でデジタル化されたファブを構築するつもりなら、熱の扱い方を見直す必要があります。あの古い抵抗式ヒーターでは、反応が遅すぎます。生産ラインがミリ秒単位で動いている状況では、コイルが温まるのを待っている暇はありません。 そこで役立...

ファブラトリーでは、ベイク処理の段階で、線幅制御に必要な熱的条件が決定されます。ソフトベイクやハードベイク時の2°Cの誤差があると、CDバイアスが変わり、スカミングが発生し始めます。このようなばらつきを解消するために、私たちはカーボンナノチューブを利用したヒーターを開発しました。 技術的に重要な点...