제조 현장에서는, 포토레지스트를 가열할 때 히트플레이트의 온도가 0.5°C만 변동해도 선폭 제어에 문제가 생기고, 그 결과 제품이 폐기되는 경우가 있습니다. 따라서 온도 측정은 설정된 값에 맞게 이루어져야 하며, 히터의 특정 부위의 온도에 의존해서는 안 됩니다.
기술적으로 중요한 점 우리는 반도체 히터용 써모커플을 제작할 때, 웨이퍼 전체의 온도를 ±0.1°C 이내로 유지하고, 여러 번의 가공 과정에서도 일관된 성능을 유지할 수 있도록 합니다. 센싱 장치는 웨이퍼가 실제로 온도를 느끼는 위치에 설치되며, 히터의 최고 온도가 나오는 위치가 아닙니다.
이 장비는 클래스 1–100 등급의 청정실 환경에서도 정상적으로 작동합니다. 입자 발생을 방지하며, 반복적인 열 주기에도 견딜 수 있습니다. 24/7 연속 운전 중에도 출력이 안정적으로 유지되므로, 계획되지 않은 가동 중단이나 예측 가능한 유지보수 주기가 필요하지 않습니다.
포토리소그래피에서의 효과 포토리소그래피에서는, 베이크 모듈이 엄격한 온도 제어 조건 하에서 소프트 베이크와 하드 베이크를 정확하게 수행해야 합니다. 우리의 써모커플은 온도 프로파일을 안정적으로 유지시켜, CD의 변동을 줄이고 포토레지스트의 성능을 향상시키며, 폐기물을 줄여줍니다.
또한, 더욱 엄격한 제어를 통해 자격 검증 과정이 단축되고, 과도한 온도 상승을 방지함으로써 에너지 사용도 줄어듭니다. 그 결과, 수율이 향상되고 재작업이 줄어들며, 장비의 가동 시간도 늘어납니다.
올바르게 설치하기 위해 필요한 사항 설치 tolerances는 매우 엄격합니다. 프로브는 지정된 깊이에 정확하게 위치해야 하며, 웨이퍼 평면과 정렬되어야 합니다. 정렬 오류나 열 접촉 문제가 발생하면 온도의 균일성이 저하되고 온도 변동이 발생할 수 있습니다.
이 시스템은 대부분의 히터 플랫폼과 호환되지만, 기존 장비를 개조할 경우에는 맞춤형 브라켓과 커넥터가 필요합니다. 히터의 모델과 공정에 필요한 온도 범위를 명시해 주시면, 적절한 케이스 재질, 절연 처리 및 보정 곡선을 선택할 수 있습니다.