탄소 나노튜브 제조용 히터

팹 내에서는 베이킹 과정을 통해 라인폭 제어를 위한 열 관리가 이루어집니다. 소프트 베이크나 하드 베이크 시 온도가 2°C만 변동해도 CD 편차가 생기고, 그로 인해 문제가 발생할 수 있습니다. 이러한 변동성을 줄이기 위해 우리는 탄소나노튜브를 활용한 가열 장치를 개...