시간 낭비를 그만하세요: 왜 웨이퍼 가공에는 열풍 대신 적외선을 사용해야 하는가? 만약 여전히 열풍을 이용해 웨이퍼를 가공하고 있다면, 사실상 시간과의 싸움에서 계속 패배할 수밖에 없습니다. 열풍이 어떻게 작동하는지 생각해보세요. 공기를 가열한 다음, 그 공기가 웨이...

Role 당일 생산 현장에서 온도 드리프트는 경고등으로 나타나지 않는다. 이는 소프트 베이크 후 CD 드리프트, 하드 베이크 후 프로파일에서의 풋팅, 그리고 포토레지스트가 소진되고 시간이 지난 이후에야 나타나는 불량으로 드러난다. 웨이퍼 레벨의 열 제어는 선택 사항이...