반제품의 온도를 정확하게 조절하는 방법 웨이퍼를 다룬 경험이 있다면, 웨이퍼가 변형되거나 오염되는 문제가 얼마나 골치 아픈지 잘 알 것입니다. 이 문제는 결국 온도 조절과 관련이 있습니다. 이 문제를 해결하기 위해 우리는 적외선 램프와 금으로 만들어진 반사체를 함께...

IR 램프가 폭발성 화학물질과 접촉할 때 안전을 유지하는 방법 반도체를 청소할 때는 마치 불을 다루는 것과 같습니다. 그러한 용매들은 발화성이 있으며, 경우에 따라서는 직접적으로 폭발할 수도 있습니다. 일반적인 적외선 램프를 그런 환경에 사용한다면, 재앙을 초래할 수...