레이볼드 진공 히터 부품

생산 과정에서는 부드러운 건조 과정에서 온도가 0.2°C 정도 변동하게 되고, 이로 인해 포토레지스트의 성능이 달라집니다. 그 결과, 웨이퍼 전체의 온도 균일성이 떨어지고, 재작업도 많아집니다. 리소그래피 공정에서는 열적 안정성이 단순히 선호사항이 아니라, 반드시 충...