반도체 히터용 온도센서

제조 현장에서는, 포토레지스트를 가열할 때 히트플레이트의 온도가 0.5°C만 변동해도 선폭 제어에 문제가 생기고, 그 결과 제품이 폐기되는 경우가 있습니다. 따라서 온도 측정은 설정된 값에 맞게 이루어져야 하며, 히터의 특정 부위의 온도에 의존해서는 안 됩니다. 기술...