晶圆加热的安全距离

红外加热与热风加热：别再浪费时间在晶圆加热上了 先来了解一下热风加热的原理：首先加热空气，然后让空气去加热晶圆。这个过程相当缓慢，而且会有令人厌烦的等待时间。在复杂的半导体加工过程中，这种延迟不仅令人烦恼，还会带来额外的成本。 而红外加热则省去了这一中间步骤。它直接将能量传递到晶圆表面，无需通过空...