用于半导体加热器的热电偶

在制造过程中，光刻胶烘烤时，加热板上的温度若出现0.5°C的偏差，就足以破坏线条宽度的精确控制，导致产品报废。因此，必须使用能够准确反映设定温度的传感器——而不是那些只反映加热器局部温度的传感器。 从技术层面来看，关键点在于： 我们为半导体加热器设计的热电偶能够确保晶圆表面的温度均匀性保持在...