在半成品加工过程中，如何精确控制温度至关重要。如果你曾经处理过晶圆，就会知道晶圆出现变形或污染的问题有多糟糕。而解决这个问题的关键，就在于温度控制。 为了解决这个问题，我们使用红外灯以及金制反射器。这样做的目的很简单：让热量准确地传递到需要的地方，避免浪费能量去加热腔室中的其他区域。 为什么选择黄...

在芯片制造过程中，软烘烤或晶圆干燥环节中的温度波动不仅会成为生产的瓶颈，还会导致关键尺寸发生变化，同时还会留下残留物，这些残留物最终会导致产品合格率下降。我们设计了响应速度极快的红外加热器，从而从源头上消除这种温度波动问题。 从技术角度来说，重要的是什么？ 我们使用装在石英外壳中的短波红外卤素元件...