工厂暖通解决方案

在工厂车间，温度漂移不会以警告灯的形式出现。它表现为软烘烤后的CD漂移、硬烘烤后的轮廓基脚，以及在批次已经消耗了光刻胶和时间后才显现出的废品。晶圆级的热控制不是可有可无的选择，而是过程预算的一部分。 技术上重要的事项 我们围绕NIR和中波红外模块构建了工厂加热系统，这些模块是为半导体热控制设计的。...