停止热量浪费：为什么半导体加工设备需要铝制反射器 红外灯的问题在于，它们会向各个方向释放热量——360度全方位散热。但在半导体加工设备中，我们只关心那些照射在晶圆上的热量而已。如果没有反射器，那么一半的热量就会被白白浪费掉。这些热量不会消失，而是会渗入设备的机壳中。很快，机壳的内壁就会变得非常热，...

在制造过程中准确控制热量 如果有过处理晶圆固化过程的经验，那么你一定知道基材变形这个麻烦问题。这种情况通常是由于热量分布不均所导致的。在现代化的、以数据为驱动的制造环境中，我们不能再简单地增加热量输出，然后寄希望于一切顺利。 其实，关键在于反射器。这个小小的部件决定了能量是真正作用在晶圆上，还是白...

在半成品加工过程中，如何精确控制温度至关重要。如果你曾经处理过晶圆，就会知道晶圆出现变形或污染的问题有多糟糕。而解决这个问题的关键，就在于温度控制。 为了解决这个问题，我们使用红外灯以及金制反射器。这样做的目的很简单：让热量准确地传递到需要的地方，避免浪费能量去加热腔室中的其他区域。 为什么选择黄...