中波石英加热管

在芯片制造过程中，大家都知道：如果烘烤温度出现半度左右的偏差，就足以导致芯片关键尺寸的均匀性出现问题，进而影响良率。而中波石英加热管则能够防止这种偏差的产生。 真正重要的是对晶圆本身的精确控制。中波红外线可以几乎不受表面效应的影响而穿透光阻层，同时，由于石英管的熱质量较小，它能够快速且均匀地传递热...