ファブプラント加熱ソリューション

工場フロアにおける温度ドリフト 工場フロアでは、温度ドリフトは警告灯として現れることはありません。ソフトベーク後のCDのドリフト、ハードベーク後のプロファイルでの足元、そしてロットがフォトレジストと時間を使い切ってから初めて現れるスクラップとして現れます。ウエハーレベルの熱制御は、単なるおまけでは...