莱宝真空加热器备件

在加工过程中，由于温度变化，烘烤温度会偏离0.2℃，这使得光阻材料的性能发生变化。因此，CD的均匀性也会受到影响，进而导致需要多次重新加工。在光刻工艺中，热稳定性并非可有可无的参数——它才是决定工艺成败的关键。 真正重要的因素是什么？ 我们设计的莱宝真空加热器采用了短波红外线元件以及石英基材料构成...