微型晶圆零件用红外加热器

在光刻车间，你很快就会了解到烘烤温度漂移0.5°C会导致关键尺寸发生纳米级变化——这就是大量晶圆变成废品的原因。用于微晶圆部件的短波红外加热器直接解决了问题，将热行为锁定在工艺窗口内。 技术关键点 我们制造的短波红外发射器采用快速响应的石英封装，针对半导体热预算进行调谐。整个烘烤区晶圆级温度均匀性...