晶圆加工设备的温度传感器
为什么我们在晶圆加工设备中用红外线替代热风加热 如果你希望加快半导体的深度加工速度,那就必须找出导致时间浪费的环节。对于我们大多数人来说,那个瓶颈就是加热过程。 大多数传统的加热方式都是使用热风。这种方式的效率很低:首先需要加热空气,然后空气再去加热晶圆。这就好比用暖风机来给房间供暖——需要很长时...
氢气传感器制造用加热器
为何还要继续等待烤箱加热呢?红外技术与热风技术在氢传感器中的应用 如果你正在制造氢传感器,那么你一定知道其中的问题所在:需要激活催化剂层,同时还需要稳定薄膜结构,而这一切都取决于如何控制温度。 很多工厂仍然在使用那种大型热风循环烤箱。说实话,这其实是一种效率低下的方法。因为依靠强制对流来加热,实际...
MEMS传感器晶圆干燥加热器
如何让MEMS芯片在干燥过程中不受损害
让MEMS传感器芯片干燥其实是一项相当棘手的任务。需要尽快让芯片上的水分蒸发,但如果不小心的话,就可能会出现水渍,甚至更糟糕的是,机械应力会破坏整个芯片的结构。
因此,我们使用专为这一目的而设计的红外线加热器。这类加热器可以直接对芯片表面进行加热,从而在表面...
用于晶圆的精密红外传感器
用于晶圆处理的精密红外灯
想象一下:您正在忙碌地生产晶圆,生产线运转正常,突然——一盏灯坏了。这不仅仅意味着生产暂停,还会导致整个生产过程陷入混乱,甚至可能引发污染,让整个工厂停止运转。
我们设计的精密红外灯就是为了防止这种糟糕情况的发生。我们的目标就是提供高强度且可控的热量,同时确保晶圆保持绝对...
智能传感器封装红外线
在芯片制造厂里,智能传感器封装生产线对温度变化极为敏感。只要有一次烘烤过程出现偏差,或者某个区域温度过高,那么在光刻工序完成之前,产品的合格率就会下降。为此,我们开发了红外加热系统,以此来消除这种不确定性。
关键所在 我们使用与光阻材料吸收特性相匹配的近红外发射器,这样热量就能快速且无接触地传递到...